Zeta-20 True Color 3D Optical Profiler
Zata-20は最新技術を搭載し、3Dイメージングやフレキシブルな測定が可能であり、コストパフォーマンスに優れた光学式表面形状測定装置です。
PSS、太陽電池、マイクロ流体デバイス、その他の測定をZ-Dot技術（特許）が迅速で簡単に測定することが可能です。
また、サンプルに非接触でありメンテナンスも最小限に抑えられるため、最小のコストで他に類のないパフォーマンスを提供することができます。
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太陽電池電極 |
MCP ダイヤモンドパッド |
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代表的なシステム構成
5x、10x、20x、50x、100x 対物レンズ
1/3”CCDカメラ；0.5x結合レンズ
30mm自動稼働Zステージ
100mm×100mm手動稼働X,Yステージ
Zeta 3D ソフトウェア
3D測定
傾き、回転、ズーム、フィルタリング
Feature volume 計算
2D測定
Feature size、直径、面積
パターンピッチ、標準偏差
範囲表面粗さ
範囲高さ (範囲平均、ステップ高さ)
形状測定
高低差
粗さパラメータ
多方向断面
平均化測定 (カーソル上)
指定範囲間測定
傾斜及び波形保障
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